マイクロビアとは
microvia
高密度プリント配線板(特にビルドアップ多層配線板)で層間接続に使用される微小な穴を指す。IPC規格では直径150μm以下のものを指し、主にレーザビア(レーザ穴あけで形成されるビア)が用いられるが、開発初期にはフォトビア(写真法で形成されるビア)も存在した。一般的には非貫通穴(ブラインドビアやベリードビア)が多いが、貫通穴(スルービア)もある。貫通穴ではレーザ穴あけよりも機械式穴あけが主流である。穴を銅めっきで充填するものをフィルドビア、充填しないものをコンフォーマルビアと呼ぶ。