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break point
フォトレジストの現像工程や銅箔のエッチング工程において、処理チャンバー全長に対する現像またはエッチング完了位置の比率を示す指標である。この点を過ぎてチャンバーを出るまでの時間最適化が、条件設定の重要な要素となる。