フィルタとは

filter

異種物質を選別または除去する機能を有する装置または部材である。例えば、(1) めっき液中の微細固形粒子を除去する装置、(2) アルカリ型フォトレジストはく離装置において、はく離液中のレジスト成分を除去する装置、(3) 特定周波数帯の信号のみを選択的に通過させる電気回路、(4) 空気取入口などで塵埃を取り除く装置などがある。(1) および (2) は一般にろ過機またはろ材と呼ばれる。