水銀ショートアークランプとは

mercury short arc lamp

マスクフィルムのパターンを、銅張積層板などに塗布またはラミネートしたエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジストへ転写する露光装置の光源として使用されるランプである。
紫外線を発光し、電極間距離が短いため点光源として機能する。この特性により、ロングアークランプと比較して高精度な露光が可能である。
また、フライアイレンズを介して平行光を得る場合の光源としても用いられる。