走査型プローブ顕微鏡とは

非常に鋭利な探針（マイクロプローブ）を用いて、対象物の表面をなぞるように走査し、表面の状態を高い分解能で観察する顕微鏡である。光学顕微鏡と異なり、光の波長の制限を受けないため、非常に高い分解能を持つ。探針と被検査物の間の相互作用を利用して観察を行うが、利用する相互作用により種類が異なる。たとえば、トンネル電流を利用する走査型トンネル顕微鏡（STM）や、原子間力を利用する原子間力顕微鏡（AFM）がある。