ステップタブレットとは
step tablet
レジストが受ける露光量に応じた硬化の度合いを評価するために用いられるフィルムである。一定の比率で濃度を変化させたパターンを多数段階的に配置した構造を持ち、これをレジスト上に重ねて一定時間露光することで、露光量に段階的な差を与えることができる。この特性により、最適な露光条件を効率よく求めることが可能である。
step tablet
レジストが受ける露光量に応じた硬化の度合いを評価するために用いられるフィルムである。一定の比率で濃度を変化させたパターンを多数段階的に配置した構造を持ち、これをレジスト上に重ねて一定時間露光することで、露光量に段階的な差を与えることができる。この特性により、最適な露光条件を効率よく求めることが可能である。