プリント基板（PCB）用語集

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走査オージェ電子顕微鏡とは

試料表面を細く絞った電子線で走査し、表面から放出されるオージェ電子のスペクトルを分析する装置である。これにより、表面近傍数ナノメートルに存在する元素の分布情報が得られる。さらに、イオンエッチングで表面を削りながら測定することで、深さ方向の元素分布も観察できる。

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