比較外観検査法とは
comparative optical inspection
あらかじめ用意したマスタ画像と被検査パターンを画素単位で比較し、差異が検出された箇所を欠陥と判定する機械式外観検査方式である。正確な基準画像を準備でき、かつ大量生産を行う工程においては、簡便かつ有効な検査手法として利用される。
comparative optical inspection
あらかじめ用意したマスタ画像と被検査パターンを画素単位で比較し、差異が検出された箇所を欠陥と判定する機械式外観検査方式である。正確な基準画像を準備でき、かつ大量生産を行う工程においては、簡便かつ有効な検査手法として利用される。