故障解析とは
failure analysis
電子部品、装置、またはシステムに故障が発生した際、その原因を物理的および化学的手法によって究明する作業である。簡易なクロスセクション観察や化学分析に加え、SEM、EPMA、ESCA、XPSなどの高度な解析装置を用いて実施される。得られた解析結果は、故障原因の除去および再発防止に活用される。
failure analysis
電子部品、装置、またはシステムに故障が発生した際、その原因を物理的および化学的手法によって究明する作業である。簡易なクロスセクション観察や化学分析に加え、SEM、EPMA、ESCA、XPSなどの高度な解析装置を用いて実施される。得られた解析結果は、故障原因の除去および再発防止に活用される。