コリメーション光とは
collimated light
露光用途に使用される平行な光線からなる光源である。点光源と距離、またはレンズ・凹面鏡を用いて平行光に整える手法があり、高精度な露光には後者が用いられる。微細パターンを正確に再現するには、高いコリメーション性能が求められる。
collimated light
露光用途に使用される平行な光線からなる光源である。点光源と距離、またはレンズ・凹面鏡を用いて平行光に整える手法があり、高精度な露光には後者が用いられる。微細パターンを正確に再現するには、高いコリメーション性能が求められる。