走査電子顕微鏡とは

scanning electron microscope, SEM

電子線を細く絞り試料表面を走査し、反射電子や二次電子などを検出して画像として表示し、試料の表面形態を観察する装置である。SEMとも呼ばれる。光学顕微鏡と比較して焦点深度および分解能が2桁以上優れている。さらに、電子線によって発生したX線を検出し、EDX（エネルギー分散型X線分析）によって元素分析や元素分布観察を行うSEM-EDXも広く用いられている。