DMMとは
DMM digital micromirror
MEMS技術を用いてシリコンチップ上に形成された極小の可動ミラー構造であり、制御信号に応じてミラーの傾斜方向を変化させることで、光の反射角を調整する。主にレーザビームを指定位置に正確に導く用途に用いられ、DMMを活用したレーザ描画装置も実用化されている。
DMM digital micromirror
MEMS技術を用いてシリコンチップ上に形成された極小の可動ミラー構造であり、制御信号に応じてミラーの傾斜方向を変化させることで、光の反射角を調整する。主にレーザビームを指定位置に正確に導く用途に用いられ、DMMを活用したレーザ描画装置も実用化されている。