感光性レジストとは

photosensitive resist, photoresist

感光性レジストとは、エッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジストなどの画像パターン形成に使用される感光性の有機被膜である。形式としてはドライフィルム型と液状型が存在し、現像に使用する液体には有機溶剤系およびアルカリ水溶液系がある。近年では廃液処理や大気汚染への配慮から、アルカリ水溶液タイプの使用が主流となっている。