過硫酸塩エッチング液とは

persulfate etchant

過硫酸塩を主成分とする水溶液で作った銅のエッチング液。 過硫酸塩類として
過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、 過硫酸カリウムなどがある。 通常は、
銅の表面をわずかに溶解するマイクロエッチングに使用することが多い。アンモ
ニウム塩は錯塩を作りやすく、 廃液処理が困難となるので使用を避け、ナトリウ
ム塩、 または、 カリウム塩が用いられる。