エッチファクタとは

etch factor

導体の厚さ方向のエッチング深さをT、幅方向のエッチング量をDとしたとき、エッチファクタは次式で定義される。

エッチファクタ = T / D

また、エッチングによって形成された導体の側面と絶縁体の間の角度をθとしたとき、

T / D = tan θ

とも表せる。エッチファクタの値が大きいほど、導体側面は絶縁体に対して垂直に近くなり、結果として高精度なパターン形成が可能であることを意味する。