液状レジストとは

liquid photoresist

液体状の感光性レジストであり、エッチングレジストやソルダレジストなどのパターン形成用途に使用される。正式名称は液状感光レジストである。「液レジ」という略称は、主にソルダレジストを指すことが多い。液状レジストは基材上に塗布した後に乾燥させ、パターンマスクを介して露光および現像を行うことで所定のパターンを形成する。電着レジストも液状レジストの一種である。