X線光電子分光法とは

XPS (X-ray photoelectron spectrometry)

X線を試料に照射し、放出された光電子のエネルギーを測定して、表面の元素組成および化学結合状態を解析する手法である。Electron Spectrometry for Chemical Analysis（ESCA）とも呼ばれる。イオンエッチングを併用することで、深さ方向の分布も解析可能である。