PSMD法とは
photosensitive metal deposition method
絶縁基板に吸着させたフォトプロモータに対して、フォトマスクを通じて紫外線を照射し、照射されなかった活性領域に貴金属を無電解めっきにより析出させる工法である。レジストを用いないパターン形成法であり、PSCR法やPCC法と関連する。
photosensitive metal deposition method
絶縁基板に吸着させたフォトプロモータに対して、フォトマスクを通じて紫外線を照射し、照射されなかった活性領域に貴金属を無電解めっきにより析出させる工法である。レジストを用いないパターン形成法であり、PSCR法やPCC法と関連する。