グロー放電発光分光法とは

グロー放電を利用したスパッタリングにより、試料表面をアルゴン（Ar）ガスでスパッタリングし、発生したアルゴンプラズマ中での発光スペクトルを用いて元素分析を行う手法である。この方法では、スパッタリングで試料の表面を削りながら深さ方向の元素分布を分析できる。高真空環境を必要とせず、スパッタリング速度が速いため、短時間で測定が完了する利点がある。