ドライフィルムラミネータとは
dry film laminator
ドライフィルムレジストを基板へ熱圧着するための装置である。保護フィルムを剥離しつつ、加熱によってレジスト層を軟化させ、キャリアフィルム側から基板に圧着する構造を採る。基板表面に凹凸がある場合には、真空ラミネータを用いることで密着性を高める工夫がなされている。
dry film laminator
ドライフィルムレジストを基板へ熱圧着するための装置である。保護フィルムを剥離しつつ、加熱によってレジスト層を軟化させ、キャリアフィルム側から基板に圧着する構造を採る。基板表面に凹凸がある場合には、真空ラミネータを用いることで密着性を高める工夫がなされている。