ドライフィルムフォトレジストとは

dry film photoresist

感光性を有するレジスト剤をフィルム状に加工したものである。液体状ではなく、フィルム形態であることから「ドライフィルム」とも呼ばれる。感光層はポリエステルなどをベースとするフィルム上に塗布し、乾燥後にポリエチレンなどの保護フィルムで覆った三層構造をなす。出荷時にはロール状に巻かれており、使用時には専用のラミネータを用いて加熱しながら保護フィルムを除去し、基板に圧着する。取り扱いが容易であり、生産効率も高いため、エッチング用やめっき用のレジストとして広く利用されている。また、テンティング法によるスルーホールの封止にも使用される。なお、ソルダレジスト用のドライフィルムも存在するが、現在では液状タイプが主流である。