動画版展示会レポート：SEMICON Japan2022〈前編〉

2022年12月14日(水)〜12月16日(金)、東京ビッグサイトにおいて、世界を代表するエレクトロニクス製造サプライチェーンの国際展示会「SEMICON Japan2022」が開催されました。

『未来を変える。未来が変わる。』をスローガンに掲げた本展。半導体を基盤とするデジタルの力によって課題解決に向き合い、未来を切り開いていく半導体産業の力を実感できる場を目指し、多くの技術や製品が出展されました。

 

概要

会期：2022年12月14日(水)〜12月16日(金)

開催地：東京ビッグサイト

主催：SEMI

開催規模：出展社数673社／団体（昨年度：452）、出展小間数1,677小間（同：1,358）、出展国数11か国・地域（同：9）

出展：semi公式サイト

 

来場者数

12月14日（水）16,103人

12月15日（木）17,821人

12月16日（金）17,556人

来場者数合計 51,480人［昨年度28,876人］

出展：semi公式サイト「開催速報」

 

取材企業

今回、以下の企業様へ取材を行いました。

 

キヤノン株式会社／ウシオ電機株式会社／株式会社アドテックエンジニアリング／株式会社 図研／旭ダイヤモンド工業株式会社／東京計装株式会社／東京電子株式会社／株式会社テクネ計測／株式会社D-process／株式会社日本レーザー／山下マテリアル株式会社／ケニックス株式会社／東フロコーポレーション株式会社／株式会社テクトロニクス＆フルーク／ヒメジ理化株式会社／インフィコン株式会社／JFEテクノリサーチ株式会社／エレファンテック株式会社／株式会社光洋マグネティックベアリング／東ソー株式会社／株式会社ジェイテクト／株式会社ジェイテクトマシンシステム／株式会社ジェイテクトグラインディングツール

 

これらの企業様の動画を順次公開していきます。

 

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また、下記の企業様の取材内容は、動画版展示会レポート：SEMICON Japan2022〈後編〉をご覧ください。
 

新コスモス電機株式会社／株式会社リンテック／日本電産マシンツール株式会社／ワッティー株式会社／日本ベーカーヒューズ／株式会社KEC／株式会社タイセー／株式会社アスカインデックス

 

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キヤノン株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=dMU4yBWXjKA

 

企業概要

同社は、カメラ、プリンター、医療機器をはじめ、産業機器として、半導体露光装置、FPD露光装置など幅広い製品の開発、生産、販売を行っています。

 

製品・サービス

《高解像力で100×100mmの超広画角の露光が可能な半導体露光装置「FPA-5520iV LF2オプション」》

新製品「FPA-5520iV LF2オプション」は、0.8μmの高解像力と露光ひずみの小さい4ショットの繋ぎ露光による100×100ｍｍの超広画角の露光を可能とすることで、2.5次元と3次元技術を組み合わせた超大型・高密度配線パッケージの量産を実現します。

 

 

ウシオ電機株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=eiP8AFRMgO4

 

企業概要

1964年設立の同社は、紫外から可視、赤外域にわたるランプやレーザー、LEDなどの各種光源および、それらを組み込んだ光学・映像装置の製造販売を行っています。

半導体、フラットパネルディスプレー、電子部品製造などのインダストリアルプロセス分野や、デジタルプロジェクターや照明などのビジュアルイメージング分野において、高シェア製品を数多く有しています。

また、近年では、医療や環境などのライフサイエンス分野にも事業展開しています。

 

製品・サービス

《ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ第三の光熱源「LEDアニール装置」》

「LEDアニール装置」の特徴として、加熱効率の向上による省エネルギー化の実現が挙げられます。

さらに、高速応答性によるサーマルバジェット低減および、LED方式による分布制御の容易さと高均一性も叶えています。

LED方式による高精度温度計測を可能とし、放射温度計によるリアルタイムの温度計測を行うこともできます。

 

 

株式会社アドテックエンジニアリング

 

https://www.youtube.com/watch?v=922wvUPCJuA

 

企業概要

同社は1983年に設立され、露光装置のリーディングカンパニーとして成長を続けています。

同社はフォトマスクを使用するコンタクト式露光装置から、最先端のマスクレス直接描画露光装置まで製品ラインナップを拡大し、世界中のお客様に製品を提供し大きな市場シェアを獲得しています。併せて、超精密機械加工や工場自動化（FA）機器にも事業を展開しています。

主力製品である『INPREX』、および『DE』直接描画露光装置シリーズは、品質、性能、安定性を兼ねそなえ、PCB業界をはじめ多くのお客様に採用されています。

 

製品・サービス

《See your future in our Maskless Direct Write Exposure Solution「DE-2 W300/P600、DE-8 W300/P600」》

高精度ステージを採用しオーバーレイ：±1μmにおいて、最新鋭光学系を搭載しL/S：2/2μmを達成することで、最先端半導体のFOパッケージ、有機パッケージ基板生産で求められる高精度高解像度を実現しました。

さらに、昨年より協業を行っている米国デカ テクノロジー(Deca Technologies)社のAdaptive PatterningTMとの統合により、マルチチップFOにも対応が可能となります。

 

 

株式会社 図研

 

https://www.youtube.com/watch?v=z2PmLGCmCvo

 

企業概要

同社は、製造業における製品設計・開発業務全体の高度化や最適化を支援する各種ITシステムの開発・製造・販売や、コンサルティングサービスを行っています。

 

製品・サービス

《半導体／PKG／PCB協調設計「CR-8000 Design Force」》

これまで同社は、SoC／PKG／PCB協調設計としてソリューションを提案してきました。パッケージ設計を中心とし、半導体やPCBとリアルタイムに連携しながら設計できる機能を開発してきた実績を持ちます。

「Design Force」では、新たに「MEMS Designer」というアナログ半導体のアートワーク設計が可能な製品を投入したことにより、ターゲットとなる半導体が大きく広がりました。

また、３次元的に接続するボンディングワイヤー機能の拡充および、これまでのSiP設計に有効な機能や３Dとメカ設計との連携により、MEMSモジュールやパワーモジュールの設計を強力に支援しています。

 

旭ダイヤモンド工業株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=5hSWiDhesTM

 

企業概要

同社は1937年の創業以来、ダイヤモンド工具の専業メーカーとして事業を深化してきました。
国内外問わず、広く事業を展開する独立した企業グループとして、人材や情報などあらゆる資源を独自の判断で投資できる点は、同社が持つ最大の強みです。

同社の工具は、高い切削・研削能力や優れた耐久性を誇り、高速加工や精密加工に適していることから、電子・半導体、輸送機器、機械、石材・建設など非常に多岐にわたる分野のものづくりに利用されています。
ダイヤモンド工具においては、廃棄物量の削減に寄与するとともに、工具使用時の電力消費を抑えられることで、環境負荷低減の一助を果たしています。

さらに、技術力の向上を目的とし、外部機関と協力しての研究開発や工場間の連携、長年にわたり蓄積してきた情報やノウハウの活用などを積極的に推進しています。
また、コンプライアンスの徹底はもちろんのこと、「人財の成長」を事業の基盤とし、人材育成や技能伝承にも注力しています。

昨今の電子・半導体市場の拡大に伴い、同社は電子・半導体用工具の開発を加速させるとともに生産増強を進め、グローバル市場への対応を図っています。

 

製品・サービス

《加工効率の向上、加工コスト、加工ダメージの低減に寄与します「面研削用ダイヤモンドホイール」》

「面研削用ダイヤモンドホイール」は、半導体ウェーハおよび電子部品に使われる基板材料を薄く平坦化する工具です。

ウェーハ製造工程における表面研削、両頭研削や、半導体製造プロセスにおけるバックグラインド工程により、研削ダメージの低減やスループットの向上を達成することができます。

 

 

東京計装株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=ZJlUDXGUSJI

 

企業概要

同社は1954年の創業以来、流量計および液面計を主体とする流体計測機器の製造・販売を行ってきました。

「はかる技術で地球の未来に貢献」 を経営理念として掲げ、お客様ニーズへの対応力の向上、製品群の拡充、アプリケーションノウハウの蓄積、アフターサービス・メンテナンス態勢の強化、最新技術の効果的な製品開発への取り込んでいます。

合わせて、継続的な改善活動による生産効率・業務品質の向上、海外の製造拠点・販売拠点の増強による海外市場でのシェア拡大、納期短縮へ向けたフレキシブルな対応とコスト競争力の強化などをより一層進めています。

 

製品・サービス

《既設のチューブに挟み込むだけで流量計測可能！「クランプオン超音波流量計・GST及びUCL」》

GSTとは、PFA小口径チューブ用のクランプオン超音波流量計です。

また、UCLとは、小口径から1”までのPFAチューブ用のクランプオン超音波流量計です。

流量計取付けのためのチューブ切断・施工が不要で、既設のチューブに挟み込むだけで流量計測ができるため、半導体製造装置など高いクリーン度の要求されるプロセスに最適です。

変換器は小形で、省スペースで装置搭載が可能です。1ch形およびマルチチャンネル形をラインナップ、1台の変換器で最大6台までの検出器を接続できます。

 

 

東京電子株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=U_njXbkA574

 

企業概要

真空機器・電源装置のメーカーである同社。

真空部門においては、真空計、質量分析計、真空配管・チャンバー、超高真空ポンプ、そして真空装置、質量分析装置など、低ガス放出な0.2%BeCu材を使用し、極高真空対応ができる製品提供を特徴としています。

また、電源装置部門においては、スパッタ装置用パルス電源、プラズマ発生用パルス電源など、パルスパワーを特徴とする電源装置を製作販売しています。

 

製品・サービス

《デバイスの品質管理には欠かせない高精度質量ガス分析装置「高精度質量ガス分析装置　WATMASS-MPH GA System」》

本品は、デバイスや材料などのサンプルを破壊/非破壊で、封止内部あるいは材料内部の残留ガス計測を行う高精度質量ガス分析装置です。

分析室、イオンソースに超低ガス放出真空構造材0.2%BeCuを使用した0.2%BeCuを使うことでアウトガスを極限まで抑え、ノイズピークの低減をしています。これにより高精度の計測が実現でき、E-15Pa・m3/s (He) の極微小リークを計測することが可能となります。

用途として、半導体デバイス・車載用MEMSセンサーなどの封止デバイスのチップ内部のリーク検出、デバイスの積層間・ウェハー貼り合わせ部分の残留ガス計測、ガラス基板の気泡チェックなど、多岐にわたって使用することができます。

 

 

株式会社テクネ計測

 

https://www.youtube.com/watch?v=sF-t0K6JVAk

 

企業概要

同社では、⽔分管理に関するあらゆるアプリケーションにおいて、お客様にソリューションを提供し、同時に技術⾰新を実現することを⽬的として⽇々取り組んでいます。

上記⽬的を達成するため、計測事業・装置事業・サポート事業という３事業を柱としています。 計測事業の内容としては、主⼒商品である国産露点計TK-100 をはじめ、ミラー式露点計、温湿度計、酸素濃度計（酸素計）、腐⾷性ガス中⽔分計、⾵速計、CO2 計等、硫化水素計、⽔分管理およびその周辺に不可⽋な計測器を製造・仕⼊販売しています。

 装置事業の内容としては、配管・ライン構成・電気関連に就き迅速に提案を⾏います。お客様のご要望を受け、制御盤を製造・販売しております。また、⾼精度加湿装置の製造も⾏っております。

サポート事業の内容としては、販売商品全てに対する校正・現地校正・修理点検・現地訪問をはじめとするサポート業務を⾏っています。

 

製品・サービス

《★デモ機貸出OK★-100～+20 ℃dpの露点測定可能な国産露点計「静電容量式露点計　TK-100オンライン露点計」》

「静電容量式露点計　TK-100オンライン露点計」は、下記の特徴を持ちます。

●　国内開発・国内製造

●　-100～+20 ℃dpの露点計測

●　精度±2 ℃dp

●　通常在庫あり

●　充実のサポート体制

●　トレーサビリティあり

 

 

株式会社D-process
 

https://www.youtube.com/watch?v=Kq9e5dLlEsM

 

企業概要

同社は半導体・電子デバイスの製造プロセスにおけるCMPや接合工程の受託開発、受託加工を行っています。

展示会ブースや会社カタログ、HPにも表現されている通り、同社は「不思議の国のアリス」をモチーフとして、『半導体・電子デバイス業界をお客様と一緒に冒険しよう！』というコンセプトをもとに取り組んでいます。

 

製品・サービス

《半導体・電子デバイス業界を冒険しよう！！「CMP・接合・めっき・超高平坦化プロセス」》

同社は半導体・電子デバイスプロセスにおけるCMP・接合を中心とした製造プロセスについて強みを持っています。

 

 

株式会社日本レーザー

 

https://www.youtube.com/watch?v=CL9lTQcSWTk

 

企業概要

同社は、創業55年のレーザー専門商社の草分けとして、世界トップメーカーのレーザー・光関連製品の輸出入を行っています。

また、SEMI会員として長年にわたり、半導体業界と光技術の架け橋になるべく努めてきた歴史を持ちます。

高い実績と情報収集力を背景に、半導体をはじめとするさまざまな産業および研究開発分野へ、光源、レーザー加工装置、検査・分析装置等、用途・要件に最適なレーザー・光製品を提供しています。

さらに、技術部門では、企画・設計・開発をといった応用分野への技術的提案とともに、海外製品も安心して導入できるユーザーサービスも重視しています。これにより、お客様のより高度なニーズにもトータルサポートでお応えすることができます。

 

製品・サービス

《ウェハ・基板上の欠陥を高速・高感度でスキャン「Lumina Instruments AT1」》

AT1は、ガラス、半導体、化合物の基板やウェハの欠陥を高速かつ高感度で検出するレーザースキャナーです。

nmオーダーの高感度で、150 mmウェハ全面を60秒でスキャンします。4つの検出方式（明視野、暗視野、傾斜、偏光）で同時に検査することで、傷、異物、凹凸、内部応力などを1スキャンで検出・分類することができます。

顕微鏡やエリプソメーターによる従来の検査を大幅に効率化し、検査工程の省人化を実現します。

ワークサイズは最大450 mmに対応し、オプションで自動搬送や欠陥位置マーキング機能にも対応しています。

 

 

山下マテリアル株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=60Z1Rwfb0zA

 

企業概要

同社は、ＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）の開発、製造、実装を行っているメーカーです。

素材、技術とスピード（短納期対応）による価値創造を通じて、暮らし、社会や産業に貢献することをモットーに活動しています。

ＦＰＣは、極めて薄く自在に曲げることができるため、わずかな隙間さえあれば使用できます。
そのため、スマートフォン、光通信モジュール、医療用画像診断装置、液晶ＴＶ、アミューズメントなどありとあらゆる分野に使用されています。

また、当社の強みのひとつとして、短納期対応可能な点が挙げられます。最短納期は、“中一日コース”から可能です。

さらに、最近の話題として、“大電流対応FPC　BigElec（ビッグエレック）”を開発しました。バスバーやハーネス代替えに使用することができます。※特許取得済。

同社は、お客さまと社会のニーズに真摯に耳を傾け、新製品の「開発・創造」と、安全を最優先に高品質の製品を安定的に送り出す「製造」が一体となって成長の基盤を強化し、企業価値の最大化に取り組んでいます。
絶えず変化し続ける世界市場の中に確固とした地歩を築き、継続的な成長と発展を図っています。

 

製品・サービス

《薄型形状で大電流に対応。湾曲可能で、狭い場所への組み込みに好適。バスバーやハーネスの代替に！「大電流FPC「BigElec」」》

同社が提供する「大電流フレキシブル配線板」は、バスバーやハーネス代替を想定した大電流配線向けの製品です。導体厚75～100μmの導体層を形成することにより、通常のフレキシブルプリント配線板より大電流を流す事が可能です。

また、湾曲が可能であるという特徴も持ち、狭い場所への組み込みに対応できます。

そのほかにも、以下の特徴を持ちます。

■大電流を流す事が可能

■狭い場所での組み込みや折り曲げができる

■挿し部品や表面実装部品を実装可能

■基板間の接続を一体化でき、組立工数の削減に貢献

 

 

ケニックス株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=FmzeeP6rkJI
 

企業概要

同社は、スパッタリング、プラズマ、超高真空、薄膜形成、などの要素技術で半導体製造市場ニーズに対して最適な研究環境を提案し、革新的な装置を提供しています。

圧力勾配式スパッタ法やICP型クラッキング、CCP型カソードなど、オリジナルなプラズマ応用技術を開発・製品化しています。

 

製品・サービス

《高品質薄膜形成を実現する、プラズマ応用による新しい薄膜作成技術「圧力勾配式スパッタリング、プラズマクラッキング蒸発源、CCP型イオン源、高周波誘導加熱型超高温加熱システムなど」》

プラズマ生成源と薄膜形成空間を最適融合することにより、新たな薄膜形成環境を構成することができます。

圧力勾配現象を利用した高品質薄膜形成スパッタ装置や、加熱蒸発粒子をプラズマ化させるプラズマクラッキング蒸発源、CCP型プラズマ源によるプラズマALD用イオンソース、高周波誘導式超高温加熱プロセス装置、それらの機構構造に必須のセラミック・SiC・石英など硬脆材料の精密加工製品類です。

 

 

東フロコーポレーション株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=GGYX3lweNSk

 

企業概要

同社は流量メーカーおよび、流量制御機器メーカーとして、高精度な製品、コンパクトで安価な製品など幅広い製品を取り揃え、業界のさまざまなニーズに応えてきました。

流体関係でお困りのケースにおいて、周辺機器を含めたトータルな提案ができる点に強みを持っています。

 

製品・サービス

《流量コントローラ「FLC-US40」》

流量コントローラ「FLC-US40」は、小型超音波流量計とバルブ機能が一体となった流量コントローラです。純水や薬液など高精度に流量制御を行います。

 

 

株式会社テクトロニクス＆フルーク

 

https://www.youtube.com/watch?v=2f7NZ_JrBLs

 

企業概要

同社は計測器のトップ企業として、さらなる機能と性能を追求し、飽くなき挑戦を続けています。

テクトロニクスにおいては、複雑さという障壁を打ち破り、グローバルな技術革新を加速化する画期的なテスト／測定ソリューションを設計し、製造しています。

 

製品・サービス

《パワー半導体等の高電圧の容量測定が可能／測定速度向上／テスト・コスト削減「半導体パラメトリック・テスト・システム　S530」》

「ケースレーS530シリーズ・パラメトリック・テスト・システム」は、量産向けの試験装置です。

2022年、最新ソフトウェアバージョンKTE V7.1.3をリリースし、パラレルテスト機能(ソフトウェア・オプション)が追加されました。

これにより、さらなる測定速度の向上および、テスト・コストの削減を実現することが可能です。

また、S530の高電圧版システム(S530HV)では、パワー半導体やワイド・バンド・ギャップ半導体のための、独自の高電圧における容量測定オプションが追加されました。

 

ヒメジ理化株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=lzX8r5rWtAM

 

企業概要

高精度かつ高純度な石英ガラス製品を生産供給する同社。

理化学ガラスの生産から半導体分野へ進出した同社において、生産の核となるのは「石英ガラスの加工技術」と「自社開発の機械装置」です。

 

製品・サービス

《匠の技術と最新設備で高精度・高純度製品「石英ガラス加工品」》

「石英ガラス」は、半導体や液晶、光ファイバーなどの最先端産業をはじめ、さまざまな分野に幅広く活用されています。

そのなかでもメイン事業となるものとして、半導体の製造プロセスに必要な様々な石英ガラス製品があります。

 

インフィコン株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=NA1EewFtYxo

 

企業概要

同社は革新的な計測器、重要なセンサ技術、高度なプロセス制御ソフトウェアを提供し、高度な産業真空プロセスの生産性と品質を向上させるリーディングカンパニーです。

これらの分析・計測・コントロール製品は、空調/冷蔵・自動車製造・アフターマーケットでのガス漏れ検出に不可欠です。

また、光学・FPD・太陽電池・半導体や薄膜コーティングの複雑な製造に不可欠な製品となっています。

そのほか、ライフサイエンス、研究、航空宇宙など、多くの産業分野で当社の真空機器が利用されています。

さらには、真空技術の専門知識を活かし、緊急対応、セキュリティ、環境衛生と安全のためのユニークな有毒化学物質分析製品を提供しています。

 

製品・サービス

《次世代のスマートファクトリーを実現する生産管理ソリューション「スマートファクトリースケジューラ」》

「スマートファクトリースケジューラ」は、工場のアウトプット向上や、リードタイム短縮のための次世代生産管理スケジューラです。

刻々と状況が変化する工場のデジタルツインを生成し、突発事象をリアルタイムで反映させながら生産スケジュールをスピーディに最適化します。

各種パラメータ設定とその重みづけを設定画面から簡単に行うことができ、この設定をもとに自動で24時間先までの生産計画を最適化し、また状況の変化を速やかに生産計画に反映することができます。これら先端のソフトウェア技術により、多くのお客様の工場において、10〜15%の生産性向上を実現しています。

そのほかにも、異常検知システムや、それと連動しリアルタイムで異常を検出する各種センサなど、工場の品質向上に寄与するソリューションを提供しています。

 

JFEテクノリサーチ株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=EGqUMiWA2Tw

 

企業概要

JFEホールディングス傘下の製鉄会社JFEスチール100％出資である同社は、分析・評価・解析・調査を行う受託会社です。

鉄づくりで培った技術を応用し、「ものづくりのベストパートナー」として、ナノ領域から大型構造物までお客様へ高い解析と評価技術を提供しています。

 

製品・サービス

《400万点・90秒！全面膜厚測定でお客様の課題を解決！「膜厚分布測定装置・FiDiCa」》

「FiDiCa®」は、シリコンウエハ、ガラス、樹脂フィルム、金属などの測定対象全面の膜厚を短時間で高精度に測定する装置です。

測定結果は数値のみならず、カラーマップでも表示可能です。

「FiDiCa®」の強みとして、測定対象の膜厚を400万点のデータでとらえ、測定から演算までを90秒で行う点が挙げられます。

400万点という圧倒的な情報密度を武器に、お客様の品質問題の解決および高速での測定により、お客様の測定時間と評価時間の短縮に貢献します。

 

エレファンテック株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=j3YVezykeiw

 

企業概要

同社は、「新しいものづくりの力で、持続可能な世界を作る」というミッションを掲げ、インクジェット印刷と銅めっきを活用した環境にやさしいフレキシブル基板、P-Flex ®を国内製造・WW販売をしています。

金属のインクジェット印刷は複雑な技術であるものの、エレファンテックはそれを市場に投入し量産することに成功した初の企業であり、現在唯一の企業でもあります。
 

製品・サービス

《フレキシブル基板を環境負荷削減の独自製法で製造。サステナブルな世界に貢献「P-Flex PI® フレキシブル基板」》

既存のフレキシブル基板の製造においては、積んで・削るため大量の廃液や廃水により、環境負荷が非常に高くなることが大きな課題となっています。

しかし、エレファンテック製法では、金属をナノ化してインクにし、インクジェット印刷で必要な部分にのみ金属パターンを形成し、無電解銅めっきで配線を形成します。
既存製法で必須のDES工程が必要ないため、CO2の排出量が大幅に削減されます。現在の同社量産実証工場ベースでは、70%以上のCO2排出量削減を実現しました。

また、水使用量においても、既存製法と比べ水洗工程が格段に少なく、95%の削減を叶えています。

有害物質を排出する工程においても、製造工程自体がシンプルなこともあり、85%の削減を実現しました。より詳しい情報は、同社のWEBサイトもご参照ください。

 

株式会社光洋マグネティックベアリング

 

https://www.youtube.com/watch?v=xgJVj3PW48Y

 

企業概要

同社は、下記のような回転体での困りごとに対する解決策に強みを持っています。

　・超高速で回したい

　・オイルフリーで回したい

　・低トルクで回したい

　・消費電力を抑えたい

　・メンテナンスが大変

上記の課題に対し、すべて磁気軸受によって解決を図ることができます。

 

製品・サービス

《非接触で軸を支持し、あらゆることを実現！「磁気軸受」》

「磁気軸受」とは、電磁石の力で回転する軸を非接触で支持します。

主な特徴として、下記の３点が挙げられます。

①非接触で摩擦摩耗がないため、超高速回転に対応することができます。また、動力損失が極めて小さいことから、消費電力の削減にもつながります。

②オイルフリーであるため、潤滑装置やオイルシールが不要となり設備・装置のコンパクト化を実現します。

③軸受部に寿命の概念がなく、また潤滑が不要なことからメンテナンスフリーで連続運転が可能です。消耗部品交換のために装置を止める必要がありません。

 

 

東ソー株式会社

 

https://www.youtube.com/watch?v=JCjhw5H3K3o

 

企業概要

同社は、1935年に山口県で操業を開始した化学メーカーです。

『化学の革新を通して、幸せを実現し、社会に貢献する』を企業理念に、グローバルで広く使われる素材を提供しています。

 

製品・サービス

《炭化水素系高機能洗浄剤（ＨＣシリーズ）/ノンハロゲン非引火性洗浄剤（ＨＡシリーズ）》

HCシリーズは、その優れた洗浄性能と信頼性が評価され、産業全般に広く使用されています。蒸留再生によるリサイクルが可能で、環境にも優しい洗浄剤です。
各種の汚れに応じた製品をラインナップしています。

HAシリーズは、アルコール類に水を配合することにより、引火点を消失させた洗浄剤です。汚れを溶解することにより除去できるため、高い洗浄度が得られます。
非引火性であり消防法の適用を受けないため、大型部品の洗浄にも適しています。ただし、水分濃度管理が必要です。荷姿はドラム缶：200㍑、石油缶：18㍑、UN缶：20㍑を用意しています。

 

 

株式会社ジェイテクト

 

https://www.youtube.com/watch?v=BvxVFQCtoE0

 

企業概要

同社は、ステアリングシステム、軸受、駆動部品、工作機械、電子制御機器などの製造・販売を行っています。

 

製品・サービス

《幅広い真空・クリーン環境に対応「真空・クリーン用軸受」》

同社は、高真空10-8Paまで対応可能かつ、環境負荷物質を含まないふっ素グリースを封入した新開発の軸受を初出展しました。

特殊なふっ素高分子膜をコーティングした軸受も取り揃え、幅広い真空・クリーン環境に対応し、半導体製造装置に要求される高度なクリーン性維持に貢献しています。

 

 

株式会社ジェイテクトマシンシステム

 

https://www.youtube.com/watch?v=aRisiMBfb9o

 

企業概要

同社（旧名：光洋機械工業株式会社）は、工作機械・自動車部品・FAシステム・精密機器(スピンドル・インデックスチャック)・ジョイントの5つの事業を行っています。

メインとして、工作機械・自動車部品を扱い、さらには研削盤の総合メーカーとして、国内外で事業を行っています。

製品・サービス

《各種難削材料ウェーハを高精度に研削加工「硬脆材料・複合材料ウェーハ研削盤/R631DF」》

難削材料・複合材料向けの平面研削盤 R631DFは、複合材料を同一平面に研削することを得意とし、スピンドルには超音波援用ユニットを搭載しています。

また、本製品は下記の２つの特徴を持ちます。

・生産性の向上
　「切味コントロール」：超音波振動による自生で切味回復、安定した生産が可能

・といし長寿命化による環境負荷低減
　「低摩耗率」：自生発刃の調整により、といし摩耗率の低減を推進

 

 

株式会社ジェイテクトグラインディングツール

 

https://youtu.be/JwaPuGRM73w

 

企業概要

同社は自動車部品から非自動車関連まで幅広く、高精度、高能率加工に不可欠なダイヤモンド、CBN工具の製造・販売を行っています。

創業時から自動車や工作機械分野で培ったノウハウを活かし、半導体や航空機、モーター分野などの新しいプロダクトに果敢に取り組む同社は、さらなる進化を続けていきます。

 

製品・サービス

《高能率研削でも安定した切れ味を維持し、工具費低減と生産性向上を実現「ビトリファイドダイヤモンドホイール『nanoVi』」》

組織構造の最適化による高気孔率化および、組織強度の両立を実現する革新製法の開発により、業界最小粒径0.5μmの超砥粒ダイヤの砥粒数、砥粒間隔を適正化したビトリファイドダイヤモンドホイールです。

6インチSiCウエハ研削で表面粗さRa1.5nm、TTV1μmを達成しており、安定した切れ味と長寿命で工具費低減とダメージ層低減を実現します。

 

 

 

まとめ

半導体業界への注目度の高さを裏づけるように、多数の人で賑わい大盛況のうちに幕を閉じた本展。

デジタルの力を駆使したあらゆる課題の解決が期待される昨今、デジタルイノベーションを下支えする土台として、半導体の重要性はますます高まってきています。

こうした背景を踏まえ『未来を変える。未来が変わる。』というスローガンを抱えた本展は、半導体の現在と未来が同時に提示されたという点で、今後の同業界ならびに「SEMICON Japan」の軌跡においても、大きな意味を持つ回となったのではないでしょうか。

本展によって生まれた数々の出会いや商談が、世界をリードする日本の同業界を加速させる原動力となることを期待しています。