2023.02.15
3D-X線ステレオ方式 X線観察装置 FX-400tRX
株式会社アイビット

密閉型X線装置ながら、高解像度2μmを達成
製品概要
■高解像度2μm、幾何学倍率500倍により鮮明なX線画像の取得可能
■従来であれば、高価な開放型X線管を用いるような試料に対して、同等な画像品質を取得可能
■ICワイヤーボンディングの接続部、銅ワイヤーについても検査可能
■プリント基板の内部のスルーホールなども観察可能
■高出力llOkV、200μAにより、3mm厚の銅板などの透過可能
製品特徴
① l lOkV、200μAの高出力X線源により、銅板(3mm)なども透過
② 高解像度2μmの画像分解能により、微細な部分の画像取得
③ 幾何学倍率500倍により、高倍率撮影
④ X線ステレオ方式1により、実装基板の表面、裏面の分離(約4秒)
⑤ X線ステレオCT方式1により、実装基板の水平断面300層を取得(約50秒)
⑥ CT機能を用いた自動検査(OK/NG判定)
⑦ 2次元コードを用いてのトレーサビリティ対応
高解像度2μmの画像及び、プリント基板のスルーホールのクラック画像
簡単操作でCT機能のフル活用
P-CT(ななめCT)、V-CT(垂直CT)で3D検査