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展示会レポート 2024.12.26

2024年12月11日(水)〜13日(金) 東京ビッグサイトにて開催

動画展示会レポート「SEMICON JAPAN 2024」(後編)

基板の窓口編集部

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2024年11月11日(水)〜13日(金) 東京ビッグサイトにて「SEMICON JAPAN 2024」が開催された。

「SEMICON JAPAN」は半導体産業の技術・装置・材料などをはじめ、あらゆる関連分野が集結する国内最大級の展示会だ。同展の2024年における3日間の来場者数は102,987名となった。

基板の窓口では、同展における注目の出展企業を総力取材。出展各担当者によるブースでのインタビュー動画をもとに、各社の最新製品や技術をお届けする。本記事では後編として、全取材動画のうち半分を紹介する。

公式サイト:https://www.semiconjapan.org/jp

 

SEMICON JAPAN概要

SEMICON JAPANは、半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーした、同分野における国内最大級の国際展示会である。

同展は1977年の第一回から数え50年近くの長い歴史を持ち、半導体分野を代表するさまざまな企業が一堂に会する。近年はAI・機械学習、5G/6G高速通信技術、メタバース、サステナビリティ、自動運転技術といった新規分野にも積極的に取り組み、半導体というキーワードを介して、あらゆる最先端技術についての情報交換・ビジネス交流の場を提供している。

フエスト株式会社

エアシリンダーなどの空気圧をデジタルで精密に制御!「ピエゾバルブ応用製品」

https://youtu.be/04AJ8jl4qLg

フエスト株式会社の主力製品の一つであるピエゾバルブは、従来の空気圧機器が抱えていたアナログ制御の限界を打ち破り、デジタルによる高精度な空気圧制御を可能にする独自技術である。同技術は、高精度・高速度・低消費電力のモーション制御を実現する。

特に、半導体製造装置分野では、エアシリンダーの動作を滑らかに開始・停止させることができるため、ウェハーの不具合の原因となっていたパーティクル発生を抑制できる。

同製品は、韓国や台湾、北米、日本の大手ユーザーに受け入れられ、実際の工場での稼働や評価が進行おり、今後も需要の増加が見込まれている。

コフロック株式会社

急激な圧力変化に対しても安定した制御を実現!PIマスフローコントローラ「ST-500 シリーズ」

https://youtu.be/9nKTqn-ePBs

コフロック株式会社の主力製品であるマスフローコントローラー(MFC)は、流体の流量を一定に制御するもので、半導体産業をはじめ多岐にわたる産業分野で活用されている。

同社は今回、新製品「ST-500」を発表した。この製品は「プレッシャーインセンシティブ(圧力鈍感性)」を特徴とし、急激な圧力変化に過剰反応せず、安定した制御を実現する。圧力センサーを独立して搭載することで、従来製品の課題であった流量乱れを抑制し、高精度な計測制御が可能である。特に、CVD装置やエッチング装置などの半導体製造プロセスにおいて、ガス圧力変動の影響を最小化し、プロセスの安定化に貢献する。

2024年1月の発売以降、通信規格「DeviceNet」に加え、「EtherCAT」通信にも対応を拡大しており、国内外での実績拡大を目指している。

株式会社イワキ

気密性の高い輸液で、製造現場の安全と効率化に貢献!「ケミカルポンプ」

https://youtu.be/sjMwRFPmFfA

株式会社イワキは塩酸や硫酸といった化学薬品の移送に使用される樹脂製のポンプを提供している。この製品は液体を漏らすことなく移送できる点が最大の特徴であり、人に触れると危険な薬品を扱う工場などで、安全性と効率化に貢献している。

ケミカルポンプは、その用途から薬品を扱う様々な業界で採用されている。特に半導体産業をはじめ、化学、食品、表面処理といった幅広い分野で使用されている。

アズビル株式会社

MEMS加工技術でデポ対策を強化!「サファイア隔膜真空計」

https://youtu.be/39SnEVFDPv8

アズビル株式会社のサファイア隔膜真空計は、半導体製造装置のチャンバー内で使用されるものである。MEMS加工技術を用いることで、デポ物(膜の付着物)が付着してもダイアフラムが固まりにくく、計測精度に影響を与えない点が特長である。これにより、装置の稼働を極力停止させることなく、安定した計測を実現している。

この製品は約1年前から本格的に生産が開始され、現在、世界中の半導体装置メーカーやデバイスメーカーでのテストが進行中である。

株式会社ジイエムシーヒルストン

高速・高精度で精密加工・精密検査に活躍!直動リニアモーター「シャフトモーター」

https://youtu.be/VjG8wRTOdNY

株式会社ジイエムシーヒルストンは、シャフト型リニアモーター「シャフトモーター」を主力製品として展開している。この製品は簡潔な構造でありながら高い精度を実現する点が特徴で、従来のボールねじでは不可能だった動作や精度を可能にしている。また、三相モーター用の一般的な周辺機器と互換性があり、柔軟なシステム構築が可能である。

同製品は、上下2軸のモーターを1台のドライバーで駆動するパラレル駆動が可能であり、従来必要だった同期操作を省略しつつスムーズな動作を実現する。また、精度の高いエンコーダーやコントローラーを組み合わせることで、さらに優れた精密動作を実現することも可能である。

同社は2000年から本製品の販売を開始し、昨年度は約1万2000台を販売した実績を持つ。国内外の半導体製造装置や精密加工・検査装置メーカーを中心に、広範な分野で活用されている。
基板の窓口編集部

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