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アズビル株式会社

MEMS加工技術でデポ対策を強化!「サファイア隔膜真空計」

アズビル株式会社のサファイア隔膜真空計は、半導体製造装置のチャンバー内で使用されるものである。MEMS加工技術を用いることで、デポ物(膜の付着物)が付着してもダイアフラムが固まりにくく、計測精度に影響を与えない点が特長である。これにより、装置の稼働を極力停止させることなく、安定した計測を実現している。

この製品は約1年前から本格的に生産が開始され、現在、世界中の半導体装置メーカーやデバイスメーカーでのテストが進行中である。

詳細:https://aa-industrial.azbil.com/jp/ja/products/temperature-humidity/pressure/v8

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