北川グレステック平面のCMP装置「BC -15CN」は精密研磨を行う装置だ。さまざまな材料の、研削で出せない平面性・平坦性・平行度の実現や、半導体基盤のナノ・オングストロームレベルでの研磨に対応可能だ。
研究開発に使用しやすい枚葉式で材料をマニュアルローディングするシンプルな装置であり、その装置を基本に、ユーザーの要望に合わせて自動化やカスタマイズ・オーダーメイドが可能である。
同社は、日本でCMPが始まった頃から同装置を提案し続けており、研究段階から量産まで開発へ貢献してきた実績がある。