用語集

クリーンベンチとは

ファインパターンのプリント配線板や半導体の製造において、特に塵埃の影響が大きい作業を行う場合、作業台上の空間を局部的に無塵状態にするため作業台の周りを包み、上部よりクリーンな空気をダウンブローで吹き出すようにした環境設備。クリーンルーム内の機器で特に必要とするものに使用している。

参考語：クリーンルーム、局部排気装置。

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